表面の粗さを示す指標。表面から無作ために抜き取った各点の高さから平均の絶対値を求める「算術平均粗さ Ra」や、表面の最も高い点から最も低い点までの距離を表す「最大高さ粗さRz」がおもに使用される。
およその目安としてRz＝Ra×4の値で換算できる。面粗度の値は同じでも、加工方法によって表面の様子が異なるため、工程毎に加工条件と面粗度のデータを蓄積することが大切。